產(chǎn)品目錄
- 實(shí)驗(yàn)常規(guī)儀器和其它
- 溫度探頭
- 分離器
- 空調(diào)
- 傾斜站
- 冷板
- 探測(cè)器
- 記錄儀
- 測(cè)光儀
- 閃爍計(jì)
- 測(cè)光表
- 測(cè)量系統(tǒng)
- 光譜儀
- 輻射儀
- 溶解器
- 滴定器
- 滲濾測(cè)試系統(tǒng)
- 光刻機(jī)
- 混合器
- 切片機(jī)
- 吸管
- 液壓機(jī)
- 均化器
- 冷凍機(jī)
- 讀數(shù)器
- 制冰機(jī)
- 監(jiān)視器
- 熱風(fēng)槍
- 絮凝器
- 循環(huán)浴
- 儲(chǔ)存箱
- 色譜罐
- 支架
- 儀器
- 防潮箱
- 電熱包
- 分解爐
- 試驗(yàn)器
- 冷凍干燥機(jī)
- 旋涂?jī)x
- 浴槽
- 均質(zhì)機(jī)
- 分析/測(cè)量?jī)x器
- 球磨機(jī)
- 涂布
- 熔點(diǎn)儀
- 實(shí)驗(yàn)通風(fēng)柜
- 粘度計(jì)
- 旋光
- 移液器
- 安全柜
- 處理器
- 折光儀
- 萃取器
- 導(dǎo)率儀
- PH計(jì)
- 比色計(jì)
- 試管
- 光度計(jì)
- 循環(huán)儀
- 過(guò)濾器
- 濾紙
- 反應(yīng)器
- 打印機(jī)
- 溫度計(jì)
- 控制器
- 制備器
- 下沉砝碼和玻璃連接物
- 硅管
- 循環(huán)器
- 除霜器
產(chǎn)品中心
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由PTFE 制成。
它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。
可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)臺(tái)式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動(dòng)或自動(dòng)（可選）化學(xué)藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
腔室規(guī)格:
- 最大支持8" (200mm) 晶圓
- 最大支持6" x 6" (105mm) 基板
- 材質(zhì): PTFE
硬件規(guī)格
- 液體過(guò)濾器
- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計(jì)，可在現(xiàn)場(chǎng)輕松切換臺(tái)式和嵌入式型號(hào).
- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴
- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
-大型（可拆卸）觸摸顯示屏
- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新
- 3 I/O端口
驅(qū)動(dòng)單元規(guī)格:
- 采用間接無(wú)刷驅(qū)動(dòng)單元
- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM（取決于基板/卡盤(pán)）
- 具有高加速度和高精度
- 加/減速范圍為1-30,000 RPM
- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項(xiàng)
隨附旋涂?jī)x卡盤(pán)和適配器:
-隨附1x A-V87-S96-PTFE-HD, 真空卡盤(pán)
or
-隨附1 x A-V36-S45-PTFE-HD, 真空卡盤(pán)
-隨附1 x D-V10-S50-PTFE-HD, 碎片適配器
- FCA SPS-Europe, The Netherlands
在線客服